教育背景

  • 1994.09—1998.07 西安电子科技大学计算机系,计算机应用专业,工学学士
  • 2000.09—2006.01 北京大学微纳电子学系,微电子学与固体电子学专业,硕博连读,理学博士

工作履历

  • 1998.08—2000.07 航天科技集团 西安微电子技术研究所 助理工程师
  • 2006.04—2008.06 清华大学 微电子学研究所博士后
  • 2010.03—2013.11 清华大学 精密仪器与机械学系 助理研究员
  • 2013.12—至今 清华大学精密仪器系 副研究员

研究领域

MEMS加工技术及其相关器件,特别关注硅基MEMS技术的芯片级原子态器件、MEMS继电器、恶劣环境用MEMS传感器与执行器

研究概况

从事微纳米技术特别在MEMS工艺与相关器件等方面研究。具体包括:
(1)MEMS器件与关键技术;
(2)硅基MEMS工艺规则设计与加工技术;
先后获得全国博士后基金、教育部博士点基金、测试重点实验室基金、航天支撑基金、973基金等8项基金项目资助。作为主要成员,参与教育部科学技术研究重大培育项目等项目,已发表论文20余篇,被SCI、EI收录10余篇;申请中国发明专利14项,已经授权8项。