教育背景

  • 1979.09-1983.08 北京工业学院(现北京理工大学),光学工程系,本科
  • 1983.09-1986.08 北京工业学院(现北京理工大学),光学工程系,硕士
  • 1986.09-1989.08 清华大学,精仪系,博士

工作履历

  • 1989.09-1992.03 航天部207所,高级工程师
  • 1992.04-1993.03 日本工业技术院(现产业技术综合研究所)计量研究院,客员研究员
  • 1993.04-1997.09 日本科技厅,科学事业振兴事业团,研究员
  • 1997.10-至今  清华大学精仪系,1998年提升教授

研究领域

精密计量与测试:干涉测量,光栅制作工艺

研究概况

主要研究包括大尺寸光栅的制作技术,光栅的离子束刻蚀及实时监测技术,中阶梯光栅的制作,光栅掩膜的无损检测,光栅参数高精度测量等。也包括光栅在计量中的应用,如二维光栅尺,基于光栅的外差调制技术,外差型傅立叶变换光谱仪等。