教育背景

  • 1996.09-2000.07 清华大学材料科学与工程系,材料科学与工程专业,获工学学士学位
  • 2000.09-2006.07 清华大学材料科学与工程系,材料科学与工程专业,获工学博士学位

工作履历

  • 2006.07-2007.04 国家纳米技术与工程研究院,微纳加工技术实验室主任
  • 2007.05-2010.05 清华大学精密仪器与机械学系,博士后
  • 2010.06-2013.10 清华大学精密仪器与机械学系,助理研究员
  • 2013.11至今 清华大学精密仪器系,副研究员

研究领域

主要研究微米/纳米技术,具体包括RF-MEMS、空间MEMS技术,以及MEMS技术中的新材料及新原理

研究概况

部分在研项目列表:

1.国家自然科学基金,青年基金项目(51205223)“应用于RF MEMS开关的新型减振合金薄膜材料中孪晶行为的研究”

2.专项项目“基于MEMS的XXX技术”

3.专项项目“高精度XXX”

4.清华大学自主科研项目“智能灰尘技术探索”

5.CAST基金重大项目“MEMS微系统的航天适应性及测试评价”