教育背景

  • 1986.09—1990.07 上海交通大学工程力学系固体力学专业 学士
  • 1990.09—1993.01 上海交通大学精密仪器系导航控制专业 硕士
  • 1997.01—1999.07 上海交通大学精密仪器系导航控制专业 博士

工作履历

  • 1993.04 — 1995.03 上海交通大学精密仪器系 助教
  • 1995.04 — 1999.11 上海交通大学精密仪器系 讲师
  • 1999.12 — 2002.08 上海交通大学精密仪器系 副教授
  • 2000.09 — 2002.08 清华大学精密仪器与机械学系 博士后
  • 2003.05 — 2003.11 香港城市大学访问学者 Croucher Foundation Visiting Scholar
  • 2002.09 — 2008.12 清华大学精密仪器与机械学系 副研究员
  • 2008.12 — 至今 清华大学精密仪器系 教授
  • 2010.07 — 至今 清华大学精密仪器系 仪器科学与技术研究所所长

研究领域

微米纳米器件与系统技术,智能测控系统技术

研究概况

主持承担国家“973”、“863”、国家重大科学仪器专项、国家自然科学基金等项目的研究工作,主要研究工作概述如下:
(1)基于纳米材料的纳机电(NEMS)功能器件技术
研究微/纳组合结构的制造、测试和功能器件技术,包括:纳米结构和材料在微结构上组装和定位定向可控生长技术、面向器件应用的NEMS检测技术、纳米传感器及应用等。

(2)基于微流体的惯性传感器技术
研究新原理的微流体惯性传感器和惯性测量组件(MIMU),利用微流体介质代替常规微惯性器件中的质量块结构作为运动和敏感载体,实现惯性量(角速度和加速度)测量,传感器结构简单、成本低、启动快、量程大、抗冲击性强。

(3)微型柔性传感器及测控应用
研究基于热感应的微型柔性传感器,用于流量、流速、表面剪应力、温度、触觉等测量。研究其在载体测控、柔性电子皮肤、医疗健康、智能机器人等领域的应用,主要研究内容包括:智能表面流场检测和控制系统、基于表面流场检测的多飞行参数测量技术、柔性触觉测量、多功能柔性电子皮肤、可穿戴脉诊仪等。

(4)生物芯片及医疗仪器技术
面向细胞无标记、原位、长期多模式检测分析,研究细胞阵列集成微芯片设计、制造和测控方法,实现可用于单细胞阵列定位、电测量、电刺激、力检测的多模式细胞生物芯片及综合分析仪器。
研制可穿戴便携式呼吸系统疾病诊断监测模块和系统,用于对睡眠呼吸暂停综合症(OSAS)、哮喘、慢性阻塞性肺病(COPD)等疾病的家庭和社区监护、疾病初筛和无线远程诊断。
研制微小型气溶胶传感器,用于亚微颗粒气溶胶浓度和粒径测量,应用于大气监测和生物气溶胶污染监测。