微位移及定位技术,主要开展压电致动、柔性传动与微定位等技术研究
微位移及定位技术,主要开展压电致动、柔性传动与微定位等技术研究。
(1)突破传统微位移台平面传动模式,提出整体式柔性传动与空间转向机构,实现多自由度微动台;设计S形梳齿柔性臂微夹持器,用于微装配与操作系统,获授权国家发明专利2项;
(2)实验发现“压电迟滞点中心对称”规律,提出滑块压电双晶片致动方法,用于近场存储中飞行滑块定位,实现起停抖动主动抑制,获国家自然科学基金资助;
(3)提出位移/力耦合不敏感柔性传动机构,构建新型3D Touch Panel,实现HMI平台法向和切向微位移多维触控,已申请美国发明专利,“Sensors and Actuators A:Physical”发表论文SCI检索,2013年8月被Nature子刊“SCIENTIFIC REPORTS”引用。
基于微位移技术,研制三维纳米扫描台,2微米范围内定位精度±8nm,经中国计量院测试鉴定(CDgs2006-0023) ,已应用于微小尺寸测试技术研究。
精密装备光/机组件装配与性能综合测试设备已在相关领域开展应用,为科研生产提供服务并取得良好效果。
