微小尺寸测试技术,主要开展微探针扫描探测、光纤传感测量、显微视觉检测等技术研究
微小尺寸测试技术,主要开展微探针扫描探测、光纤传感测量、显微视觉检测等技术研究。
(1)针对常规原子力曲线预置点定位对仪器精度要求高和操作复杂的难题,提出微探针扫描二次谐波边缘提取方法,实现探针预置点定快速位和纳尺度特征尺寸表征,保证扫描成像质量;“Applied Optics”发表论文SCI检索,授权国家发明专利1项,教育部科技成果鉴定1项(第1完成人);
(2)提出挡板剪切式光纤透射强度调制方法,实现微小尺度位移检测;设计栅距精微组合式标尺光栅,构建新型光纤簇位移传感测头,实现多尺度定位检测;学术论文SCI检索1篇,授权国家发明专利3项,获国家自然科学基金资助2项;
(3)设计角点链码互相关和B样条拟合二阶导数过零显微检测方法,用于纤维细度测试系统,在国内100余家纤检机构应用,获“清华大学科研成果推广效益显著奖”;提出分层迭代Hough变换法,设计新型复合靶标和点光源定位基准,实现微小变形三维测试,解决了真空超低温(4.5K)极端环境超导磁体冷质变形在线监测领域的国际性技术难题。
真空超低温超导磁体冷质变形远距离视觉在线监测系统、精密设备装配自动化测量系统已在相关领域开展应用,为科研生产提供服务并取得良好效果。
