高灵敏度激光回馈干涉测量技术及仪器
Hits:

针对传统干涉测量灵敏度不够,需要合作靶镜的不足,开展了激光回馈精密测量技术的研究,从理论和实验上证明了该技术比传统干涉高3~6个数量级,可以用于非合作目标的高灵敏精密测量。在此基础上,先后提出并研究了激光回馈干涉测量技术,实现位移、转角、振动、速度、三维轮廓等多维多参数测量。

Telephone:+86 010 62783440
E-mail:

针对传统干涉测量灵敏度不够,需要合作靶镜的不足,开展了激光回馈精密测量技术的研究,从理论和实验上证明了该技术比传统干涉高3~6个数量级,可以用于非合作目标的高灵敏精密测量。在此基础上,先后提出并研究了激光回馈干涉测量技术,实现位移、转角、振动、速度、三维轮廓等多维多参数测量。