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清华大学材料科学与工程系,材料科学与工程专业,获工学博士学位
清华大学材料科学与工程系,材料科学与工程专业,获工学学士学位
清华大学精密仪器系,副研究员
清华大学精密仪器与机械学系,助理研究员
清华大学精密仪器与机械学系,博士后
国家纳米技术与工程研究院,微纳加工技术实验室主任
主要研究微米/纳米技术,具体包括RF-MEMS、空间MEMS技术,以及MEMS技术中的新材料及新原理