曾理江教授

光电工程研究所

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E-mail:

教育经历

工作经历

  • 1979.9 ~ 1983.8

    北京工业学院(现北京理工大学),光学工程系  , 学士学位

  • 1983.9 ~ 1986.8

    北京工业学院(现北京理工大学),光学工程系  , 硕士学位

  • 1986.9 ~ 1989.8

    清华大学,精仪系  , 博士学位

  • 1989.9 ~ 1992.2

    航天部207所  , 高级工程师

  • 1992.4 ~ 1993.3

    日本工业技术院(现产业技术综合研究所)计量研究院  , 客员研究员

  • 1993.4 ~ 1997.9

    日本科技厅  , 科学事业振兴事业团  , 研究员

  • 1997.10 ~ 至今

    清华大学精仪系,1998年提升教授

团队成员

教师团队

曾理江:博士,教授,博士生导师。自1997年起在清华大学精密仪器系工作至今,主要从事光栅制作工艺及干涉测量方面研究。
李立峰,博士,教授,博士生导师。自1999年起在清华大学精密仪器系工作至今,主要从事光栅电磁场理论研究。
吴冠豪,博士,副教授,博士生导师。自2010年起在清华大学精密仪器系工作至今,主要从事光频梳精密计量和激光雷达方面的研究,参与光栅制作与测量。国际激光与光电大会(CLEO)光学计量专题的学术委员会委员(任期2016-2018),日本重大探索研究计划(ERATO)智能光合成项目的顾问委员(2015-2019)。

科研情况

研究领域

主要研究包括大尺寸光栅的制作技术,光栅的离子束刻蚀及实时监测技术,中阶梯光栅的制作,光栅掩膜的无损检测,光栅参数高精度测量等。也包括光栅在计量中的应用,如二维光栅尺,基于光栅的外差调制技术,外差型傅立叶变换光谱仪等。

发表论文

更多+

1.Yuxuan Zhao , Lijiang Zeng,* and Lifeng Li,Application of broad-beam scanning exposure to fabricate low-wavefront-error holograpphic gratings, Optical Engineering, 60(4),047105 (2021)


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清华大学精密仪器系314房间,曾理江,zenglj@tsinghua.edu.cn