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MEMS谐振梁加速度计技术；基于静电悬浮技术的MEMS陀螺/加速度计；高精度惯性仪表及惯性导航系统技术

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MEMS谐振梁加速度计技术

基于静电悬浮技术的MEMS陀螺/加速度计
高精度惯性仪表及惯性导航系统技术

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