清华大学阮勇--中文主页--研究概况

从事微纳米技术特别在MEMS工艺与相关器件等方面研究。具体包括：
（1）MEMS器件与关键技术；
（2）硅基MEMS工艺规则设计与加工技术；
先后获得全国博士后基金、教育部博士点基金、测试重点实验室基金、航天支撑基金、973基金等8项基金项目资助。作为主要成员，参与教育部科学技术研究重大培育项目等项目，已发表论文20余篇，被SCI、EI收录10余篇；申请中国发明专利14项，已经授权8项。

阮勇研究员

仪器科学与技术研究所

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