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新型激光干涉仪用于光刻机
发布时间：2018-05-09
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研制了新型的双频激光器，在输出功率不小于0.8mW的情况下，其输出频差可大于3MHz（通常为5MHz~20MHz，可定制），输出正交线偏振双频激光（无需偏振态转换），并在此基础上研究了此类激光器的频率稳定技术，实现了稳频精度2´10-10。研制的大频差、高功率稳频双频激光器已提供16台用于国家02专项，本课题已顺利通过项目结题验收。
由此新型双频激光器构建的双频激光干涉仪非线性误差极小，经在光刻机上实际比对测试，其非线性导致的定位误差低至6nm，是传统安捷伦干涉仪（20多nm）的1/3，为下一代更窄线宽（<10nm）的光刻奠定了基础。
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