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博士,教授,美国加州理工学院访问学者,博士生导师,现任清华大学精仪系副系主任,曾获基金委优秀青年科学基金项目、英国皇家学会“牛顿高级学者”项目资助,是教育部创新团队负责人,入选教育部国家高层次人才计划。于2003年、2008年在清华大学获学士和博士学位,2010年博士后出站留校工作至今,主要从事激光技术和精密测量方面的教学科研工作。
围绕激光技术及应用,在激光器件,激光物理,精密测量和光学成像应用研究等方面开展了系统深入的研究工作,构成了从物理效应、器件设计、仪器开发、推广应用的完整体系。作为负责人承担国家自然科学基金,装发和科工局测试仪器领域关键技术攻关项目,国资委创新LHT重大项目,科技部重点研发计划,重大科学仪器专项等项目40余项。在Nature Communications, PhotoniX, Optica, Research, Bioelectronics and Biosensors等期刊发表 SCI 论文 130余篇,其中第一/通讯作者发表 SCI 论文70余篇, 总被引1900余次,H因子24(Google Scholar),授权发明专利41项,国际会议报告60余次。
先后获王大珩光学高校学生奖,2022年日内瓦国际发明展金奖,2021年中国激光杂志社主编推荐奖,国内省部级科技奖励6项,其中一等奖2项。担任中国电子信息行业联合会光电产业委员会副会长、中国仪器仪表学会集成电路测量与仪器分会副主任委员、科普工作委员会副主任委员和机械量测试仪器分会常务理事。担任《中国激光》《红外与激光工程》等期刊编委。
清华大学精密仪器与机械学系 光学工程 博士
清华大学精密仪器与机械学系 机械工程及自动化 学士
清华大学精密仪器系 助理研究员、副教授、教授
清华大学精密仪器系 博士后
美国加州理工学院电子工程系 访问学者
围绕激光技术及应用,在激光器件,激光物理,精密测量和光学成像等应用基础研究方面开展了大量的工作,构成了从基础器件的设计和发明,到物理现象和效应的发现,进而在发现基础上的仪器发明,直至仪器的推广和应用这一完整体系。
1. 新型激光器件
瞄准光刻机用干涉仪双频光源,研究大频差(>5MHz)、高功率保持(>0.8mW),高稳定(功率稳定度优于1%)的新原理双频氦氖激光器,包括双频的产生机理、器件结构设计和制作工艺等。围绕激光干涉和激光反馈的精密测量需求,研究新型的固体激光器件,包括单频可调谐(亚THz范围)光纤激光器,微腔拉曼和有源激光器等,并基于此开展系列应用研究。
2. 激光干涉精密测量技术
基于新原理双频激光器,开展其频率稳定技术的研究,并开发了双频激光干涉精密测量系统,用于光刻机工件台定位、机床检定和校准等。同时还开发了单频激光干涉仪及其测量系统。在上述基础上,进一步拓展并延伸至具有皮米精度的激光干涉超精密测量技术,将用于中国空间引力波探测计划。
3. 突破干涉测量极限的激光反馈精密测量技术
针对传统干涉测量灵敏度不够,需要合作靶镜的不足,创新性地开展了激光反馈精密测量技术的研究,从理论和实验室证明了该技术比传统干涉高6个数量级,可以用于非合作目标的高灵敏精密测量。在此基础上,先后提出并研究了激光移频回馈干涉测量技术、激光侦听、激光反馈调频连续波绝对测距及其三维成像技术等。
4. 光学成像与生化检测
结合激光反馈技术高灵敏的独特优势,开展新型的光学成像技术研究,如:激光共焦回馈层析成像技术,同时,融合国际上本领域最新的研究成果,例如:光学相位共轭,超声调制技术等,开展在组织中的深层穿透高分辨成像研究。融合激光反馈和微腔局域场增强的原理,开展微腔激光器反馈的高灵敏探测技术研究,用于粒子检测、温度传感、声音侦听等。
新型激光器件、激光精密测量、生化检测与光学成像
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