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超精密激光干涉测量技术及仪器
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瞄准光刻机用干涉仪双频光源，研制新原理高性能双频氦氖激光器，开发了全链条双频激光干涉精密测量系统，应用于光刻机工件台定位、机床检定和校准、基础计量位移测量等。在上述基础上，探索了具有皮米级灵敏度的激光干涉超精密测量技术，支撑我国空间引力波探测计划技术地面验证。
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瞄准光刻机用干涉仪双频光源，研制新原理高性能双频氦氖激光器，开发了全链条双频激光干涉精密测量系统，应用于光刻机工件台定位、机床检定和校准、基础计量位移测量等。在上述基础上，探索了具有皮米级灵敏度的激光干涉超精密测量技术，支撑我国空间引力波探测计划技术地面验证。