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清华大学长聘教授、博士生导师。中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务副理事长,IEEE高级会员。
主要从事微/纳机电器件和智能测控系统研究。已发表学术论文200余篇,获中国和美国发明专利30余项。主持承担完成国家“863”计划、“973”计划、国防专项、国家自然科学基金、国家重大科学仪器开发专项等科研项目,科研成果曾获得多项国家和省部委科技奖励,包括:国家技术发明二等奖1项、教育部和北京市科技奖3项、国际发明展览会金奖2项。
上海交通大学工程力学系固体力学专业 学士
上海交通大学精密仪器系导航控制专业 硕士
上海交通大学精密仪器系导航控制专业 博士
上海交通大学精密仪器系 助教
上海交通大学精密仪器系 讲师
上海交通大学精密仪器系 副教授
清华大学精密仪器与机械学系 博士后
香港城市大学访问学者 Croucher Foundation Visiting Scholar
清华大学精密仪器与机械学系 副研究员
清华大学精密仪器系 教授
清华大学精密仪器系 仪器科学与技术研究所所长