研究领域

在纳米光学特种制造及精密测量领域开展研究工作：
（1）纳米制造：超快激光纳米特种加工新原理、新技术及新装备，包括新型微纳复合结构面源黑体、辐射制冷表面、炫彩结构色表面、超疏水表面等功能表面的制造技术及装备；
（2）纳米测量：近场光学超分辨显微及纳区物性表征原理、技术及仪器，包括光调制范德华力显微术（LvFM）、纳区荧光显微术（Nano-PL）、旋性及相位分辨扫描近场光学显微术（SSPR-SNOM）等；
（3）精密仪器：研发用于特种纳米制造和精密测量的仪器、装备并积极推进其产业化应用，包括用于新一代半导体精密量测和缺陷检测的多场耦合近场探针显微镜（O-AFM）、用于红外定标的高精度面源黑体辐射源系统、高精度红外成像及测温系统等。