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清华大学精密仪器系，国家高层次人才计划入选者。长期从事高温动态复杂环境下的高精度在线监测方法研究及仪器制造，重点应用于集成电路芯片制造中的关键参数监测以及航空发动机涡轮转子叶片的健康监测。授权美国专利7项和中国发明专利71项；发表SCI学术论文98篇，Google学术引用2700余次；主持国家自然科学基金重大科研仪器研制项目等省部级以上项目10余项；获第十五届中国青年科技奖，并以第一完成人获中国电子学会技术发明一等奖、四川省自然科学一等奖等。
清华大学机械工程系，学士
清华大学机械工程系，硕士
牛津大学材料系，博士
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，副高级工程师
应用材料公司，高级工程师/中国地区技术经理
电子科技大学，教授
清华大学精密仪器系，教授、博士生导师
王超教授长期从事高温动态复杂环境下的高精度在线监测方法研究及仪器制造，重点应用于集成电路芯片制造中的关键参数监测以及航空发动机涡轮转子叶片的温度监测。授权美国专利7项和中国发明专利62项；发表SCI学术论文83篇，Google学术引用2700余次；主持国家自然科学基金重大科研仪器研制项目等省部级以上项目10余项；获第十五届中国青年科技奖等荣誉。
复杂环境下的在线监测技术，芯片制造装备及核心部件，能量转换与存储一体化器件
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