科研情况

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研究领域

复杂环境下的在线监测技术，芯片制造装备及核心部件，能量转换与存储一体化器件

研究概况

王超教授长期从事高温动态复杂环境下的高精度在线监测方法研究及仪器制造，重点应用于集成电路芯片制造中的关键参数监测以及航空发动机涡轮转子叶片的温度监测。授权美国专利7项和中国发明专利62项；发表SCI学术论文83篇，Google学术引用2700余次；主持国家自然科学基金重大科研仪器研制项目等省部级以上项目10余项；获第十五届中国青年科技奖等荣誉。