教育教学

课程简介:

微机电系统（MEMS）和纳米技术是具有广阔应用前景的新兴科学技术。特别是，基于MEMS技术的传感器、显示器、微流控芯片等等，已广泛应用于航空航天、国防、消费电子、汽车、先进制造、物联网、医疗健康、环境等领域。本课以MEMS技术为主体，结合相关纳米技术进行课程推进，希望通过本课的学习，对微机电系统及其发展有大致了解，对纳米技术有初步的了解，能进行MEMS器件的初步设计。 课程主要介绍：微机电系统技术和纳米技术概要；MEMS设计与材料；MEMS加工：表面和体硅工艺；微型传感器：压力传感器、加速度传感器和陀螺、磁强计、化学传感器等；微执行器：静电、压电、电磁、电热驱动等、微电机、梳状执行器等；典型微系统：光MEMS和RF MEMS，微流体器件、BioMEMS、PowerMEMS；纳米技术：纳米材料、纳米测量与分析、纳米加工、NEMS。 第一章 微米纳米技术概述，2学时 MEMS、纳米技术的What、When 、Why 第二章MEMS设计和加工技术，8学时 2.1 MEMS设计与材料 2.2 MEMS工艺1：IC工艺 2.3 MEMS工艺2：表面工艺 2.4 MEMS工艺3：体硅工艺、非硅工艺、封装 第三章 微致动器和微传感器，4学时 3.1 微致动器，包括：静电、电磁、压电、电热驱动 3.2 微传感器，包括：压力、惯性、磁、生化及其它传感器 第四章典型MEMS器件和系统，6学时 4.1 Optical MEMS 4.2 RF MEMS 4.3 微流体器件和系统 第五章 纳米技术，4-6学时 5.1 纳米材料 5.2 纳米测试与分析 5.3 纳米制作和NEMS * 实验，4学时 掩膜版设计； 超净间实验，包括：光刻、溅射、剥离、以及显微镜检查测量； * 研讨，4学时 同学分组介绍研讨MEMS、纳米技术的某一专题。

Course introduction:

This course introduces MEMS(micro electro-mechanical system) technology and nano technology for graduate students. About MEMS, we will lecture: MEMS process, micro sensors, micro actuators, optical MEMS, RF MEMS, micro fluidics, Bio-MEMS, power MEMS and so on. About nano technology, we will lecture: nano materials, nano measurement and analysis, nano fabrication and NEMS(nano electro-mechanical system).