教育教学

物联网、可穿戴设备在我们的生活中越来越普遍，它们的核心是获取信息的传感器，特别是体积小、功耗低的微纳传感器。微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)技术是设计制作微纳传感器等微纳器件的基础技术，也是我国重点大力发展的芯片技术之一。我们日常使用的手机、智能手表、笔记本电脑中就有大量基于微/纳机电系统技术制作的微压力传感器、微加速度计、微陀螺、微麦克风、微射频器件等等。

本课程通过介绍微机电系统和纳机电系统的发展历程，微纳加工制造技术，微/纳传感器及致动器、微纳机器人等典型案例，以及通过对自然界微纳结构和最前沿的微/纳机电系统调研讨论，使同学们对微/纳机电系统有一定的了解，激发对科学研究的兴趣。